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SEM TESCAN 提供场发射扫描电子显微镜 ( FE-SEM ) ,配备高亮度肖特基场发射灯丝,可以获得高分辨率和低噪声成像效果。其中,TESCAN MIRA 系列是高分辨率的场发射扫描电镜。此外,TESCAN 最新推出了 TESCAN CLARA 和 TESCAN MAGNA 系列产品。TESCAN CLARA 采用新型BrightBeam™ 电子镜筒技术,实现了无磁场超高分辨成像,可以实现各种分析,包括磁性样品的分析。TESCAN MAGNA 配置Triglav™ 型超高分辨率电子镜筒,同时使用了全新的电子光学系统和探测器系统,能够提供良好的表面灵敏度和衬度图像,实现对电子束高敏材料或不导电材料纳米特征的观察。 产品型号(点击型号链接可查看详细介绍): TESCAN MIRA 适用领域 半导体和微电子:球栅阵列、硅通孔、引线焊接、微机电系统
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