新一代的C-SAM技术

Sonoscan保持了当前较好的、较宽能力范围的、先进的特点、人体工程学的专注于为用户设计的、以及改进的电子平台和通过合并PolyGate™与Sonolytics™技术的带有全新的更直觉操作界面窗口的软件。Gen6™已经成为先进的声学显微图像技术的理想设备。

特点

* 带有Multi-Gate™的PolyGate™技术和Probing-Gate™功能可以实现单或多-聚集图像的能力
* 高达100 Gates/通道，具有2 Gsps采样率
* Windows® 7 Ultimate用于多语言和64位能力
* 带有平衡块儿的惯性平衡线性马达可以减轻震动，并确保较好的扫描结果
* 扫描塔安装了扫描参考平台和样品固定装置
* 开放获取式扫描区域使得放入和取出样品更加容易，并有能力扫描JEDEC托盘或一片300mm晶圆
* 水循环和在线温度控制选项功能可用
* 虚拟扫描模式（VRM）™储存压缩的数据，并使你在即使没有实际样品时也可以执行完整的样品分析
* SonoSimulator™被集成到Gen6上，以帮助图像减薄和多层的样品，如叠层芯片

Gen6™的C-Mode扫描声学显微镜在声学显微图像（AMI）中是新的一代。同时从Gen5™上秉承了其特点（例如：它的边缘切割技术、先进的特点、美学和人体工程学），Gen6除了改进了上面这些之外，还带领声学图像技术到了下一个水平。

Gen6提供了较广泛的能力。无论你需要用于非破坏性失效分析、工艺研发、R&D、用于军事应用的高可靠性资质认证、低或中等数量的筛选，Gen6是能够满足你这些需求的的C-SAM系统。Gen6对于各种不同的应用都是支持的，例如：微电子、MEMS、SSL LEDs、功率模块儿、太阳能、高科技材料，等等。

先进的Sonoscan® 能力，例如PolyGate™、SonoSimulator™、虚拟重新扫描模式（VRM）™，可选频域图像（FDI）™ 可增加价值和信心。带有较大的、容易进入的并且有灯光照明的扫描区域，Gen6配置的塔参照扫描和固定装置有能力有效的扫描每一个样品，从单个器件直到一片300mm晶圆。

除了Sonoscan这些创新之外，Gen6在设计时还时刻以用户为中心。它的人体工程学特点使得它使用起来较为舒适和方便。它先进的Sonolytics™应用软件和新的直觉操作界面菜单帮助使结果良好展现，同时节省了操作时间。加上开放式进入带照明的塔参照样品台允许更容易放入和取出样品。Gen6采用新一代 C-SAM，它提供了一系列技术、人体工程学和先进的Sonoscan成熟的这些特点。