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SURAGUS EddyCus® TF map 2525 薄膜面电阻和厚度测试仪(方阻测试仪)


 

 

 

 

TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度测量的仪器。

技术特点

非接触成像
高解析度成像(25 至1,000,000 点)
缺陷成像
封装层的地图

参数

面电阻(方块电阻)(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(nm、μm)
各向异性
缺陷
完整性评定

应用

建筑玻璃(LowE)
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
其他导电薄膜及材料

规格参数

测量技术 非接触式涡流传感器
基板 例如:箔片、玻璃、晶圆,等等
最大扫描面积 10 inch / 254 x 254 mm(根据要求可以更大)
边缘效应修正/排除 对于标准尺寸,排除2 mm的边缘
最大样品厚度/传感器间隙 2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的样本确定)

面电阻(方块电阻)的范围

低   0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
标准  1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
高   10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度
金属膜的厚度测量(例如:铝、铜): 2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
扫描间距 1 / 2 / 5 / 10 mm (根据要求的其它尺寸)
每单位时间内测量点(二次形) 5分钟内10,000个测量点
30分钟内1,000,000 个测量点
扫描时间 4 inch / 100 x 100 mm,在0.5至5分钟内(1-10mm 间距)
8 inch / 200 x 200 mm,在1.5至15分钟内(1-10mm 间距)
装置尺寸(宽/厚/深) 549 x 236 x 786(836) mm / 23.6 x 9.05 x 31.5 inch
重量 27 kg
可用特色 薄膜面阻成像
各向异性电阻传感器