TF 系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的在线薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。

技术特点

非接触与实时测量
精确测量
高度可变性和灵活性
在真空内-和真空外的解决方案
固定传感器和穿越式解决方案
单线和多线解决方案
高达每秒1000次的高采样率

参数

面电阻（方块电阻）（欧姆/平方）
金属层厚度（nm、μm）
金属基板厚度（μm）
各向异性
缺陷
完整性评定

应用

建筑玻璃（LowE）
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨
打印薄膜
导电聚合物（PEDOT:PSS）
其他导电薄膜及材料

规格参数

面电阻（方块电阻）测量技术	非接触式涡流传感器
基板	例如：箔片、玻璃、晶圆，等等
测量间隙尺寸	5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数 / 监控线数	1 - 99
传感器尺寸 (W x L x H)	M 型传感器：80 x 100 x 66 mm S 型传感器：34 x 48 x 117 mm
导电层	金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/其它
薄膜面阻的范围	低　　　0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度 标准　　1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度 高　　　10 - 10,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精确度
金属膜的厚度测量（例如：铝、银、钼、银浆）	2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
其它集成的测量	金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性
环境	在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (根据要求 <90°C / 194°F)
采样率	1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量每秒
硬件触发	5, 12, 24 V
界面	UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、模拟/数字