Nordson DAGE 4800 采用先进的晶圆测试技术,可用于测试200毫米至450毫米的晶圆。将成熟的技术与Paragon自动化软件相结合,可提供良好的准确性、可重复性和结果稳定性。
良好的品质
良好的准确性和可重复性确保您对测试结果的质量充满信心。
剪切高度的控制(复位)对剪切应用中一致性的测试结果至关重要。Nordson DAGE的复位系统有助于设置和控制剪切高度,从而使复位精度达到+/- 0.25微米。
成像
一系列功能强大的摄像头和光学系统优化加载工具对准、自动编程和测试分析。
垃圾清理
快速高效地从推刀及夹爪中自动清除残渣
双显微镜装置
4800 焊接强度测试仪的先进光学器件与显微镜的双减振装置和可调式视窗相结合,可提供良好的图像稳定性
小尺寸精准定位
矢量微调控制,提供具有可编程的微动按钮的小键盘操作,精确的步进移动,以确保位置精度
自动化测试
自动化的测试程序可以配置使用直观的晶圆映射模块在选定的或随机的模具上运行一组测试。协助用户从加载到结果,包括:摄像头对位、失效模式判定和图形数据展示
先进的全自动晶圆测试技术
• 用于高倍光学显微镜的独特双臂装置
• 可互换的测试模组包括多功能测试模组(MFC)和新的高精度拔球测试模组
• 自动边缘升降智能晶圆载盘和高精度XY工作平台,具有亚微米级分辨率和可重复性
• 创建晶圆图和导航图
• 集成图像采集和侧面对位摄像头
• 集成的残渣清除工作站在测试期间自动清理推刀及夹爪上的残渣
主要特性
• 晶圆从暗盒到焊接强度测试仪的半自动化处理
• 半自动化凸块剪切力测试
• 测试的晶圆返回暗盒的半自动化转移
• 晶圆定位和安全连锁
• 自动进行暗盒扫描以检查晶圆位置以及是否存在任何十字形开槽的晶圆
• 自动化的凸块剪切力程序(不需要摄像系统)
• 由 240 毫米操纵杆控制的精确 XY 工作平台
规格描述:
产品尺寸: 1075mm x 980mm x 855mm (ex PC)
重量: 170Kg
电源: 90 - 264V AC, 47 - 63 Hz,单相,通用
供气: 最小4巴,外径6mm /内径4mm的塑料管
供真空: 最小67kPa,外径6mm /内径4mm的塑料管材
接口: USB, Gigabit Ethernet/千兆网口