膜厚测试服务

 

服务范围:


我公司实验室的便携式F20薄膜厚度测仪可以通过分析计算反射光谱来测量绝大多数的电介质和半导体材料的膜层厚度。例如:SiO2、Silicon、SiNX、Polymer、Polumide、DLC、Photoresist、Polysicon、Amorphous Silicon等材料。测量的厚度范围为15nm至70um,准确度可以达到0.4%以上。

 


 

 

 

  

             

           

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