SVS-V6000 溅射台
V6000微型科研用镀膜设备

 

   



V6000溅射台具有和V2000系统同样的设计质量和组件,但是V6000制造更加小型化,它是适用于各大学和研究所的理想工具。


现有以下可选配件:
.500mm(直径) x 600mm(高) 的不锈钢内腔,具有前道打开的门和满室屏蔽

.干/湿第一级泵(依据具体应用)

.用于高真空级别的涡轮或低温泵

.石英晶体率及厚度控制

.离子辅助沉积和基材清洁

.溅射

.电子束蒸发

.行星基材旋转机构

.基材加热及冷却

.全系统自动化


 

 
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