Profilm3D光学轮廓仪

 

低成本-高精度
Filmetrics 让光学轮廓测量价格更為实惠,Profilm3D 使用了最先进的垂直扫描干涉 (VSI) 结合高精确度相移干涉 (PSI) 测量,以前所未见的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。

100毫米自动XY样品平台
你还为了每位使用者都需要的功能额外付费吗? 我们每台Profilm3D 都已将自动XY样品平台以及tip/tilt 功能列为标准配备。

最大视野
The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。可进一步减少总体成本,本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片。

 

性能规格

厚度范围, VS 50 nm - 10 mm
厚度范围, PSI 0 - 3 μm
RMS 重复性, VSI 1.0 nm
RMS 重复性, PS 0.1 nm
台阶高度准确性1 0.7%
台阶高度重复性2 0.1%
样品反射率范围 0.05% - 100%
SO 25178 兼容

 

机械规格

Z 范围 100 mm
Piezo (压电)范围 500 μm
垂直扫描速度 12 μm/sec
XY 平台类型 自动
XY 平台范围 100 mm x 100 mm
Tip/Tilt 平台 +/- 5°, 手动
相机 2592 x 1944 (5 百万像素)
相机变焦 3 1X, 2X, 4X
系统尺寸,宽x深x高 300 mm x 300 mm x 550 mm
系统重量 15 kg

 

选购配件
手动 4-物镜炮塔及位置感测
自动 4-物镜炮塔及位置感测

物镜4
放大倍率
2.5X
5X
10X
20X
50X
100X
视场(1倍变焦时)
8.0 x 6.8 mm
4.0 x 3.4 mm 2.0 x 1.7 mm 1.0 x 0.85 mm 0.4 x 0.34 mm 0.2 x 0.17 mm
数值孔径
0.075
0.13
0.3
0.4
0.55
0.7
工作距离
10.3 mm
9.3 mm
7.4 mm
4.7 mm
3.4 mm
2.2 mm
4倍变焦时采样空间 5
3.52 μm
1.76 μm
0.88 μm
0.44 μm
0.176 μm
0.088 μm
物镜解析能力
3.7 μm
2.1 μm
0.92 μm
0.69 μm
0.5 μm
0.4 μm
样片最大斜率 6
8.5°
14°
21°
25°
42°

 

 

 

 


1. 8微米台阶高度, 一倍标准差
2. 8微米台阶高度,单点100次连续测量, 一倍标准差.
3. 所有变焦缩放后之有效像素为648 x 484 (通过数位化Pixel Binning实现)
4. 分别出售
5. 样本上之像素大小
6. 样本表面粗糙时之最大可测斜率将较表列角度更大
 

 

 
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