NT-3 等离子清洗机

 

   

NT Plasma Cleaning System
设备应用:

半导体/集成电路;SMT;LCD行业中样品表面清洁:去除光刻胶;去除光掩膜杂质;有机粘污;氧化物污染及表面的灰尘等;还可能对表面进行活化;在生产线;FA或QA和R&D中被广泛应用。 

主要特征:

1 独特的腔体设计;
2 提供最佳的洁净空间和均匀的等离子分布;
3 使用友好的控制操作界面;
4 可进行菜单式操作和控制;
5 全部参数都时实地显示在设备的屏目上:可随时根据系统状况,进行系统诊断

NT-3 参数:
尺寸(英尺): 30L X 32W X32H
重量: 160LBS
设备腔体内部尺寸:18W X 18H X 24L (UPTO 12SHELVES)
发动机: 600 or 100 or 1500 Watt @13.50 MHZ or 40KHZ
泵: 27 or 50 or 90 CFM
操作控制: 单机板控制, 无限量数据存储; TFT显示操作系统, 更方便的与外接,结果方便输出/存储及处理.

     

                   


 

 
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