ADT 7900 系列自动切割机划片机

 

 

 

 

7910 型单主轴自动切割机划片机

配置

主轴: 2”
尺寸: 200mm

特点 & 效益

单主轴
低购置成本
占地面积小并且结构紧凑(高度低)
高可靠性
容易使用、直观、基于触摸屏的操作界面
容易维护
高精度(通过先进的错误地图修正来增强)
先进的视觉自动化
综合的、最佳的切割循环
良品率增加并且节约成本的能力
刀痕检查和质量分析
刀片磨损监测和预测
主轴负载监测
工艺数据记录和统计分析
与ADT 7900双主轴系统兼容

可选能力

先进的连续放大视觉系统
断刀探测器
集成的磨刀站
各种各样的多孔陶瓷卡盘(4”、5”、6”和8”)
高功率主轴
条形码阅读器
切割车间管理系统(DFM)

主要应用
LED 封装和晶圆
分立器件晶圆
功率器件晶圆
玻璃晶圆

这一划片机可用于
大学和研究所
IC后端工厂(用于2”-8”晶圆划片生产线)
LED 初创 (用于工艺研发、试生产、R&D)

7900 型双主轴自动切割机划片机

配置

主轴: 2”
尺寸: 150mm 或 200mm

特点 & 效益

双面主轴
低购置成本
占地面积小
高精度,高产出,高生产力
先进的视觉自动化
综合、最佳的切割循环
高可靠性和可维护性
容易使用、直观、基于触摸屏的操作界面
良品率增加并且节约成本的能力
刀痕检查和质量分析
刀片磨损监测和预测
主轴负载监测
工艺数据记录和统计分析
工件变形补偿
多面板处理
刀片修正

可选能力

部分晶圆的识别
胶膜表面检测
先进的连续放大视觉系统
划片台外的磨刀站
切割车间管理系统(DFM)
特殊配置
不同的卡盘
高功率主轴

主要应用

LED 晶圆
LED 封装
分立器件晶圆
图像传感器和镜头

7910 型规格参数

工件尺寸
可达 8”X 8”
主轴
60,000rpm/1.2KW
刀片尺寸
2”- 3”
Y 轴
驱动
控制
解析度
累积精度
步进精度
切割范围

滚珠丝杠
线性编码器
0.2 μm
1.5 μm
1.0 μm
205mm
X 轴
驱动
进给速率
切割范围
空气活塞
滚珠丝杠
可达 600mm/sec
205mm
Z 轴
驱动
控制
解析度
重复性
行程

空气活塞
旋转编码器
0.2 μm
1.0 μm
35 mm
Ø 轴
驱动
控制
重复性
行程

闭环,直接驱动
线性编码器
4 弧-秒
350°
视觉系统
数字相机,高亮LED 光源照明(垂直和斜光)
从X70到X280 倍连续数字放大或者从X35到X140(选项)
标准特色
自动对正,自动刀痕检测,自动Y 轴偏差修正
用户界面
平面17”触摸屏,直观GUI (图像用户界面)
支持多种语言,键盘和鼠标
选项
BBD(崩刀检测),条形码阅读器,高达2.4KW 的高功率主轴
磨刀站,DFM(划片站管理)
厂务
电源
压缩空气
主轴冷却
切割
 
200-240 VAC, 50/60Hz,单相
260L/min @ 5.5bar
 
1.1L/min
最大4L/min
外形尺寸
宽 x 深 x 高
重量
875 x 975 x 1,450 mm
830 kg
环境
温度
湿度
地板

室温:20°C - 25°C
<70% (相对湿度,不结露)
无震动

 

7900 型规格参数

型号
7900
7900LA
工件尺寸
可达 8”X 8”
可达 12”X 10”
主轴
两个面对面(刀片 到 刀片), 60,000rpm/1.2KW
刀片尺寸
2”- 3”
Y1/Y2 轴
驱动
控制
解析度
累积精度
步进精度
切割范围

滚珠丝杠
线性编码器
0.2 μm
1.5 μm
1.0 μm
205mm(每个主轴)     310mm(每个主轴)
X 轴
驱动
进给速率
切割范围
空气活塞
滚珠丝杠
最大600mm/sec
205mm           310mm
Z 轴
驱动
控制
解析度
重复性
行程

滚珠丝杠
旋转编码器
0.2 μm
1.0 μm
35 mm
Ø 轴
驱动
控制
重复性
行程


闭环,直接驱动
线性编码器
4 弧-秒
350°
视觉系统
数字相机,高亮LED 光源照明(垂直和斜光)
从X70到X280 倍连续数字放大或者从X35到X140(选项)
标准特色
自动对正,自动刀痕检测,自动Y 轴偏差修正
用户界面
平面17”触摸屏,直观GUI (图像用户界面)
支持多种语言,键盘和鼠标
选项
BBD(崩刀检测),条形码阅读器,高达2.4KW 的高功率主轴
磨刀站,SECS-GEM 主机通讯
厂务
电源
压缩空气
主轴冷却
切割
 
200-240 VAC, 50/60Hz,单相
260L/min @ 5.5bar
 
1.1L/min(每主轴)
最大4L/min(每主轴)
外形尺寸
宽 x 深 x 高
重量
875 x 975 x 1,450 mm
900 kg
环境
温度
湿度
地板

室温:20°C - 25°C
<70% (相对湿度,不结露)
无震动
 

 

 
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