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Semilab SE-1000 光谱型椭偏仪
(TABLE TOP SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER)


SE-1000

 

 

 

 

SEMILAB光谱型椭偏仪是多功能薄膜测试系统,适合各种薄膜材料的研究。

产品描述

SE-1000 光谱型椭偏仪采用手动变角装置来设定测试的入射角,样品台也采用手动方式,在测试的准确性和灵活性与SE-2000保持一致的情况下,为客户提供了一款极具竞争力的椭偏测试设备。另一方面,SE-1000型全光谱椭偏仪采用了最新设计的光学部件以及最新版本的测试分析软件(SAM/SEA),极大地提高了设备的运行稳定性和数据处理能力。

与SE-2000平台一样,SE-1000全光谱椭偏仪同时也是一个多功能测试平台,采用模块化的设计,可集成FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能,用户可根据测试需求合理选择搭配功能。

产品特点

业界标准测试机构定标设备,参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准
针对研发及实验室测试设计,能降低测试成本
模块化设计,可综合监控样品光学和电学特性
定期免费升级SOPRA材料数据库
开放光学模型拟合分析过程,方便用户优化测试菜单

主要应用

光伏行业:薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池
半导体行业:High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺
平板显示行业:TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片
光电行业:光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶

主要技术指标

手动变角范围:   45°-75°(最小步进5°)
光谱范围:     245-990nm
最大样品尺寸:   200mm
厚度测量范围:   0.01nm-50um(取决于样品类型)